Jonstrålekoner

SIKAIDA jonstrålekoner är kärnkomponenterna i jonstråleimplantation och transmissionssystem. Tillverkade av avancerade keramiska material med hög renhet och bearbetade genom precisionsformsprutning och högtemperatursintring, har de extremt lågt föroreningsinnehåll, hög temperaturbeständighet och stabil dimensionsnoggrannhet. De kan bearbetas till komplexa geometrier för att möta extremt höga toleranskrav, vilket gör dem lämpliga för högpresterande halvledarjonimplantationsprocesser.

Som en professionell tillverkare i Kina tillhandahåller SIKAIDA pålitliga, kostnadseffektiva och anpassningsbara jonstrålkoner till kunder över hela världen inom halvledare, plattskärm, optik, mikroelektromekaniska system (MEMS) och solenergi. SIKAIDA är en pålitlig långsiktig leverantör och dedikerad tillverkningsanläggning för avancerade jonstråleprocesskomponenter.

Material och tillverkning

1. Material

Ion Beam Cones använder material inklusive aluminiumoxid (Al₂O₃) med en renhet ≥99,9 %, kiselnitrid (Si₃N₄) med en renhet ≥99,5 %, zirkoniumoxid (ZrO₂) med en renhet ≥99,9 %, och 99,8 % kiseldioxid (9,9%). Alla material uppfyller de stränga renhetsstandarderna för halvledarindustrin och är lämpliga för prestandakraven för olika applikationer.

2. Tillverkningsprocess

Tillverkningsprocessen omfattar precisionsformsprutning, högtemperatursintring, CNC-precisionsbearbetning, polering på spegelnivå och automatiserad rengöring och testning. Varje process är strikt kontrollerad för precision och kvalitet för att säkerställa att slutprodukten uppfyller industristandarder och kundkrav.

Viktiga produktparametrar

1. Dimensionsnoggrannhet

Jonstrålekoner har toleranser som kontrolleras inom ±0,05 mm, ytjämnhet Ra≤0,4μm, inre hålavsmalningsnoggrannhet ±0,02mm, koaxialitet ≤0,03mm och vinkelräthet ≤0,02mm. Denna extremt höga dimensionsnoggrannhet säkerställer effektivt precisionen i jonstråleöverföringen.

2. Ytbehandling

Ytbehandlingar inkluderar mekanisk polering för en spegelfinish, UV-härdade beläggningar för att förbättra ytegenskaperna, reptåliga beläggningar för att förbättra slitstyrkan och syrabetning och passivering för att ta bort orenheter och förbättra stabiliteten. Lämpliga behandlingsmetoder kan väljas utifrån applikationskrav.

3. Prestandaindikatorer

Jonstrålekoner fungerar inom ett temperaturområde på -196 ℃ till +800 ℃, vilket säkerställer stabil drift i extrema temperaturmiljöer. De har en volymresistivitet ≥10¹⁴Ω·cm och en ytresistivitet ≥10¹²Ω, vilket uppvisar utmärkta isoleringsegenskaper. De har också enastående motståndskraft mot plasma och kemisk korrosion, vilket gör att de kan anpassa sig till komplexa processmiljöer.

Kärnfördelar

1. Ultrahög renhet: Råmaterialets renhet överstiger 99,9 %, vilket minimerar kontaminering av halvledarskivor, säkerställer stabil elektrisk prestanda hos enheter och uppfyller de stränga renhetskraven för tillverkning av halvledarprodukter.

2. Extremt hög geometrisk noggrannhet: Säkerställer konsekventa produktdimensioner under massproduktion, med avsmalningsfel kontrollerat inom ±0,05 mm och rundhetsfel ≤0,02 mm, exakt matchande installations- och användningskraven för jonstråleöverföringssystem.

3. Spegelliknande ytkvalitet: Ytjämnhet Ra≤0,4μm, vilket effektivt minskar jonstrålespridningen, förbättrar enhetligheten i jonstråleöverföringen och optimerar ytterligare implantationsnoggrannheten för halvledarenheter.

4. Stabilitet för brett temperaturområde: Fungerar stabilt i djupa kryogena till högtemperaturmiljöer. Materialet har en extremt låg termisk expansionskoefficient, vilket bibehåller utmärkt dimensionsstabilitet även vid temperaturförändringar, vilket förhindrar prestandapåverkan från temperaturfluktuationer.

5. Utmärkt isolering och korrosionsbeständighet: Förhindrar effektivt laddningsackumulering under jonstråleöverföring och motstår starka syror, starka alkalier och olika plasmakorrosioner, vilket säkerställer långsiktig stabil drift i komplexa processmiljöer.

Anpassade tjänster

Produktmodeller och storlekar kan anpassas efter olika processkrav. Ritningsformat som stöds inkluderar STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF och fysiska prover. När det gäller leveranstid är provleverans 4-7 veckor, och batchproduktleverans 8-12 veckor. Vårt kvalitetssystem överensstämmer med ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH och SEMI-standarder, vilket heltäckande säkerställer produktkvalitet och leveranseffektivitet.

Användningsområden

Jonstrålekoner används i stor utsträckning inom flera områden, inklusive jonimplantatörer i halvledartillverkning, bearbetningsutrustning i platta bildskärmar, jonstråledeposition (IBD) och jonstråleetsning (IBE) system vid tillverkning av optiska enheter, tillverkning av mikroelektromekaniska system (MEMS) för tillverkning av soljonkraftsdopningsutrustning, soljonkraftsdopningsutrustning, halvledarenheter såsom bipolära transistorer med isolerad grind (IGBT) och effekt-MOSFET.

Vanliga frågor:

F1: Vilka material används vanligtvis i jonstrålkoner?

A1: Vi använder främst avancerade keramiska material som aluminiumoxid med hög renhet (Al₂O₃), kiselnitrid (Si₃N₄) och zirkoniumoxid (ZrO₂). Dessa material har extremt hög renhet, utmärkt högtemperaturbeständighet och stabila elektriska egenskaper.

F2: Kan UET tillhandahålla skräddarsydda specifikationer och ytbehandlingar? 

A2: Ja. UET kan anpassa storlek, avsmalning, materialtyp och ytbehandling av konerna enligt dina processkrav. Vi har lång erfarenhet av tillverkning och kan möta kundernas specifika applikationskrav.

F3: Hur garanteras precisionen och kvaliteten på jonstrålkoner?

S3: Vi antar kvalitetsledningssystemet ISO9001:2015 och är utrustade med högprecisionstestutrustning, inklusive en koordinatmätmaskin, ytråhetstestare och röntgenfluorescensspektrometer, för att säkerställa att varje produktparti uppfyller stränga industristandarder.

F4: Vad är leveranscykeln?

S4: Provleveranscykeln är 4-7 veckor, och batchproduktens leveranscykel är 8-12 veckor. Den specifika cykeln beror på produktens komplexitet och orderkvantitet.